特許

J-GLOBAL ID：200903055264366741

走査型荷電粒子ビーム装置

発明者： 本田 和広
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-303710
公開番号（公開出願番号）：特開2000-131045
出願日： 1998年10月26日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】 正確な測長を行うことができると共に、高画質の像を表示することができる走査型荷電粒子ビーム装置を実現する。【解決手段】 試料3からの2次電子を検出する第1の検出器4の出力信号は、第1の増幅器6に供給されて増幅され、第2の検出器5の出力信号は、第2の増幅器7に供給されて増幅される。第1と第2の増幅器6,7の出力信号は、加算器8に供給されて加算される。加算器8において加算され、正規化された信号は画像積算器9に供給されて各画素ごとの信号は積算される。画像積算器9において積算された信号は、陰極線管10に供給され。試料3の走査2次電子像が得られる。また、画像積算器9において積算された信号は、測長ユニット11に供給され、特定パターンの測長が行われる。画像積算器9から読み出された信号は、ゲイン調節器12に供給される。ゲイン調節器12の出力は、第1と第2の増幅器6,7に供給され、それらの増幅器のゲインの調節を行う。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビーム源と、荷電粒子ビーム源からの荷電粒子ビームを試料上に細く集束するためのレンズと、試料上で荷電粒子ビームを2次元的に走査するための走査手段と、試料への荷電粒子ビームの照射によって発生した信号を検出する第1と第2の検出器と、第1の検出器の検出信号を増幅する第1の増幅器と、第2の検出器の検出信号を増幅する第2の増幅器と、第1の増幅器と第2の増幅器の出力信号を加算する加算器と、加算器による加算信号に基づいて、第1の増幅器と第2の増幅器のいずれかあるいはその両方のゲインを調節するゲイン調節器とを備えた走査型荷電粒子ビーム装置。

IPC (5件)：

G01B 15/00 ,  G01B 15/04 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

G01B 15/00 B ,  G01B 15/04 ,  H01J 37/22 502 A ,  H01J 37/28 B ,  H01L 21/66 J

Fターム (20件)：

2F067AA21 ,  2F067HH06 ,  2F067HH13 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067KK08 ,  2F067LL14 ,  2F067LL17 ,  2F067RR27 ,  2F067SS13 ,  4M106CA70 ,  4M106DB05 ,  4M106DJ12 ,  4M106DJ17 ,  4M106DJ24 ,  5C033NN01 ,  5C033NP06 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU08