特許
J-GLOBAL ID：200903055270746580
フリーラジカル生成剤及び感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
市之瀬 宮夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-031522
公開番号（公開出願番号）：特開平5-197140
出願日： 1992年01月22日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：
【要約】【目的】 画像形成感度の低下を生じることなく露光可視画性、特に低露光部の露光可視画性を向上せしめる感光性組成物を提供し、また、フリーラジカル生成効率に優れ、プリントアウト剤として用いる場合に露光可視画性を向上せしめ、かつ感光性レジスト形成組成物中に添加した場合においてもレジスト形成感度の低下がきわめて少ない、新規の2-ハロメチル-1,3,4-オキサジアゾール化合物及び該化合物を含有するフリーラジカル生成剤を提供することができる。【構成】 オルトキノンジアジド化合物、フェノール系樹脂、塩を形成しうる有機染料、下記一般式[I]で表わされるトリハロアルキル化合物及び下記一般式[II]で表わされるジアゾニウム塩化合物を含有することを特徴とする感光性組成物、5位に置換もしくは無置換のナフトリル基を直接、又は置換もしくは無置換のビニレン基を介して有する2-ハロメチル-1,3,4-オキサジアゾール化合物又は該化合物を含有するフリーラジカル生成剤。【化26】
請求項（抜粋）：
オルトキノンジアジド化合物、フェノール系樹脂、塩を形成しうる有機染料、下記一般式[I]で表わされる化合物及び下記一般式[II]で表わされる化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(式中、Raはトリハロアルキル基を表わし、Xは窒素、イオウ、セレン、炭素の各原子を表わし、Yは酸素、窒素、イオウ、セレン、炭素の各原子を表わし、Zは発色団基を有し、かつXとYを環化させるに必要な非金属原子群よりなる基を表わす。)一般式[II]Ar-N2+Rb-(式中、Arはアリール基を表わし、Rbは一価のアニオンを表わす。)
IPC (6件)：
G03F 7/004 507
, G03C 1/675
, G03F 7/00 503
, G03F 7/022
, G03F 7/029
, H01L 21/027
