特許

J-GLOBAL ID：200903055275376188

枚葉塗工方法及び枚葉塗工装置、カラーフィルタの製造方法

発明者： 石川 信行 ,  小久保 智
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-333712
公開番号（公開出願番号）：特開2000-157908
出願日： 1998年11月25日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】 ダイコータを用いた塗料の枚葉塗工方法において、塗工開始部及び塗工終了部における膜厚の盛り上がりを低減して均一な膜厚の有効領域を広げる。【解決手段】 定常塗工部である中央部における口金1のスリット5の先端部2と被塗工材7とのクリアランスt2 に対して、塗工開始位置及び塗工終了位置におけるクリアランスt1 、t3 を狭くして塗料ビード4の容積を小さくすることによって、塗工開始位置及び塗工終了位置に発生する膜厚の盛り上がりを低減する。

請求項（抜粋）：

被塗工材と塗料吐出装置の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させながら、上記被塗工材表面に塗料吐出装置のスリットより塗料を吐出させて塗膜を形成する枚葉塗工方法であって、塗料吐出装置のスリット先端と被塗工材との距離が、塗工領域内の塗工開始位置及び終了位置の少なくとも一方において、塗工領域の中央部よりも狭いことを特徴とする枚葉塗工方法。

IPC (4件)：

B05C 5/02 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

B05C 5/02 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 Z

Fターム (14件)：

2H025AA00 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025EA04 ,  2H048AA09 ,  2H048BA43 ,  4F041AA02 ,  4F041AA06 ,  4F041CA02 ,  4F041CA04 ,  4F041CA15 ,  4F041CA16 ,  4F041CA22 ,  5F046JA27