特許
J-GLOBAL ID：200903055278105754
気体濃度測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-178504
公開番号（公開出願番号）：特開平5-113391
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：
【要約】【目的】 本発明は気体濃度を測定するセンサの検出精度を高めるよう構成した気体濃度測定装置を提供することを目的とする。【構成】 貯蔵庫1と酸素濃度計3とを接続するサンプルガス供給管路4には、開閉弁9、フィルタ6、開閉弁10、ポンプ11が配設され、庫内のガス濃度を測定するとき開閉弁9,10が開弁し、ポンプ11が起動する。フィルタ6には可燃性ガスを吸着する吸着剤7が充填されており、庫内のガスはフィルタ6により可燃性ガスを除去されて酸素濃度計3に供給され濃度を測定される。
請求項（抜粋）：
貯蔵庫内の気体を抽出する管路に気体濃度を検出する濃度センサを設けてなる気体濃度測定装置において、前記貯蔵庫と濃度センサとを接続する管路途中に前記貯蔵庫から抽出された気体中に混入した不純ガスを吸着するフィルタを設けてなることを特徴とする気体濃度測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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