特許

J-GLOBAL ID：200903055279440662

カラーフィルタの異物突起検出方法および検査装置

発明者： 松永 良治 ,  根本 亮二 ,  鈴木 信彦 ,  田畑 高仁 ,  小泉 光義
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-162853
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005575
出願日： 1994年06月21日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】 カラーフィルタの異物突起Tを付着異物pと区別して検出し、検出された異物突起Tのうちの、高さ許容値を越えたものを選別できる検出方法と、その検査装置を提供する。【構成】 異物突起検査装置10は、カラーフィルタ11を載置するXY移動ステージ2と、載置されたカラーフィルタ111 に対して、波長λH の光束LT(λH)と波長λL の光束LT(λL)とを、それぞれ(40±5)°の高角度および(15±5)°の低角度で同時に照射する高角度照明系41Aおよび低角度照明系41Bと、突起Tまたは付着異物pの散乱光LR を受光する受光系42よりなる検出光学系4と、受光系42に対して順次に接続された信号処理部5とデータ処理部6とにより構成される。

請求項（抜粋）：

液晶パネル用のカラーフィルタの異物突起を検出対象とし、該カラーフィルタの表面に対して、波長λH の光束LT(λH)と、波長λL の光束LT(λL)とを、それぞれ(40±5)°の高角度と(15±5)°の低角度で同時に照射し、該両光束LT(λH),LT(λL)のそれぞれの散乱光LR(λH), LR(λL)を、(55±5)°の受光角度で受光してダイクロイックミラーにより波長分離し、それぞれを第1のCCDラインセンサと第2のCCDラインセンサに結像し、該第1のCCDラインセンサの出力信号を、前記カラーフィルタに付着した付着異物の信号成分を除去する第1の閾値VH に比較して、前記異物突起の信号成分を検出して突起パルスを作成し、かつ、前記第2のCCDラインセンサの出力信号を積分して前記異物突起と付着異物のそれぞれの高さを示す積分データを作成し、該各積分データと前記突起パルスとのアンド合成により、前記付着異物の積分データを除去して前記異物突起の積分データを抽出し、該抽出された積分データを高さ許容値に対する第2の閾値VL に比較して、該高さ許容値を越えた前記異物突起を選別し、その高さデータを出力することを特徴とする、カラーフィルタの異物突起検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00