特許

J-GLOBAL ID：200903055282225640

塗布膜形成方法および塗布膜形成装置

発明者： 永原 英知 ,  三浦 眞芳 ,  前田 修子 ,  杉山 吉幸 ,  山口 恵作 ,  池田 順治 ,  中 裕之
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-004323
公開番号（公開出願番号）：特開平10-192765
出願日： 1997年01月14日
公開日（公表日）： 1998年07月28日
要約：

【要約】【課題】 必要最小限の液量で、均一性高い所望の厚みの塗布膜を形成し、塗布膜形成コストの低減や塗布膜形成設備の小型化を実現することを目的とする。【解決手段】 陰極線管等の塗布膜形成対象物4に、第1の方向に配列された複数のノズルであり、その配列の長さが塗布膜形成対象物の所定方向の長さに対応したものを有する吐出ヘッド1を用いて、ノズルの配列する第1の方向と塗布膜形成対象物の所定方向とを一致させて、第1の方向とは異なる第2の方向に塗布膜形成対象物と吐出ヘッドとを相対走査しながら、蛍光体溶液やブラックマトリックス形成溶液等の塗布溶液を各ノズルから均一に吐出して、塗布膜形成対象物の塗布膜を形成すべき領域に均一な塗布膜を形成する塗布膜形成方法および塗布膜形成装置である。

請求項（抜粋）：

底面が曲面状であり断面形状が略凹面状である内面を有し、前記内面に沈降性、凝集性および揮発性の少なくとも1つの性質を有する溶液により塗布膜を形成すべき領域を有する塗布膜形成対象物を用意する行程と、第1の方向に少なくとも一列に配列された複数の前記溶液を吐出するためのノズルであって、前記配列の長さが前記塗布膜形成対象物の所定方向の長さに対応したノズルを有する吐出ヘッドを用意する行程と、前記吐出ヘッドと前記塗布膜形成対象物との相対移動速度を等速度に設定する設定行程と、前記吐出ヘッドからの単位時間当たりの溶液吐出量を一定値に設定する設定行程と、前記吐出ヘッドの第1の方向と前記塗布膜形成対象物の所定方向とを一致させるように前記吐出ヘッドと前記塗布膜形成対象物を設定する設定行程と、前記吐出ヘッドと前記塗布膜形成対象物とを前記等速度で前記第2の方向に相対的に走査する走査行程と、前記走査行程の途中で前記一定値の溶液吐出量に対応して前記吐出ヘッドの複数のノズルの各々から均一に溶液を吐出する吐出行程により前記塗布膜形成対象物の塗布膜を形成すべき領域に均一な塗布膜を形成する塗布膜形成行程とを有する塗布膜形成方法。

IPC (2件)：

B05C 5/00 103 ,  B05D 1/40

FI (2件)：

B05C 5/00 103 ,  B05D 1/40 Z