走査型プローブ顕微鏡による品質管理方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯阪泰雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-199730
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019094
出願日： 1998年06月30日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】特定サイズの突起が表面に形成された試料について、走査型プローブ顕微鏡により、突起以外の因子によって影響されない表面凹凸の品質管理方法を提供すること。【解決手段】外径0.1μm程度の半球状の突起が多数に形成されたウェーハ表面についての、原子間力顕微鏡の探針による走査線f(x)のフーリエ変換F(k)から求められるパワースペクトル密度P1 (k)を縦軸にとり、空間周波数を横軸にとるスペクトルから、突起を形成させる前のウェーハ表面についての同様なパワースペクトル密度P0 (k)を差し引いた部分Dの面積を管理項目として品質管理する。

請求項（抜粋）：

原子間力顕微鏡、静電気力顕微鏡、磁気力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡等を含む走査型プローブ顕微鏡の探針(プローブ)によって試料表面を走査し、前記探針と前記試料表面の原子との間に働く力または前記探針と前記原子との間に流れるトンネル電流によって、前記試料の表面を観測して前記試料表面の凹凸を品質管理する方法において、加工処理を施した前記試料の表面についての前記走査型プローブ顕微鏡による走査線f(x)のフーリエ変換F1 (k)、すなわち、【数1】を用いて、次式で定義されるパワースペクトル密度P1 (k)、すなわち、【数2】を縦軸とし空間周波数kを横軸とするスペクトルに基づいて、加工処理を施した前記試料表面の凹凸を品質管理することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡による品質管理方法。

IPC (4件)：

G01N 13/16 , G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

FI (4件)：

G01N 37/00 F , G01N 37/00 A , G01B 21/30 Z , H01J 37/28 X

Fターム (11件)：

2F069AA57 , 2F069BB15 , 2F069GG04 , 2F069HH09 , 2F069HH30 , 2F069JJ15 , 2F069MM23 , 2F069NN02 , 2F069NN07 , 2F069NN26 , 2F069PP04

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