特許

J-GLOBAL ID：200903055285139940

反射光学系

発明者： 松本 宏一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-236836
公開番号（公開出願番号）：特開平5-053057
出願日： 1991年08月26日
公開日（公表日）： 1993年03月05日
要約：

【要約】【目的】 反射光学系の解像力を向上させると共に、この反射光学系を応用した露光投影装置のスループットの向上を図ること。【構成】 概略同心状に配置された凹面鏡と凸面鏡とを有し、各反射面の同心中心を含む平面内に物体面と結像面とを配置させ、物体面からの光束を少なくとも5回の反射により像面に結像させる反射光学系に、物点から最初の反射面までの光路中及び最後の反射面から像点までの光路中に屈折面を有し、該屈折面を透過して各反射面を介し再び屈折面に至る光路中の空間に充填された透明光学部材を有するもの。

請求項（抜粋）：

概略同心状に配置された凹面鏡の第1の反射面と、凸面鏡の第2の反射面と、凹面鏡の第3の反射面と、凸面鏡の第4の反射面と、凹面鏡の第5の反射面とを有し、前記各反射面の同心中心を含む平面内に物体面と結像面とを配置させ、前記物体面上の物点からの光束を前記第1、第2、第3、第4、第5の反射面を順に介して5回の反射により結像面上の像点に結像させる反射光学系において、前記物点から最初の反射面までの光路中に位置する第1屈折面と、最後の反射面から前記像点までの光路中に位置する第2屈折面とを有し、前記第1屈折面を透過した光束が前記各反射面を介して前記第2屈折面に至る光路中の空間に充填された透明光学部材と、前記物体面から前記第1屈折面までの空間、並びに前記第2屈折面から前記結像面に至る光路中の空間に充填された透明媒質とを有し、前記透明光学部材の屈折率n1 が、前記透明媒質の屈折率n2より高いものとされていることを特徴とする反射光学系。