特許
J-GLOBAL ID:200903055293215485

固体撮像素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 松隈 秀盛
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-076024
公開番号(公開出願番号):特開平7-283387
出願日: 1994年04月14日
公開日(公表日): 1995年10月27日
要約:
【要約】【目的】 画素数が多く且つ垂直転送レジスタの動作周波数が高い例えば高品位テレビ用に適した全画素読み出し方式のCCD固体撮像素子の実現を可能にする。【構成】 3層の転送電極36,37,38を有し、最上層の転送電極38を下層の転送電極36,37とシャント用Al配線62との接続部56,57上及び受光部32上を除いて形成し、各層の転送電極36,37,38上にシャント用金属配線62を接続して構成する。
請求項(抜粋):
3層以上の転送電極を有し、該最上層の転送電極が下層の転送電極とシャント用金属配線との接続部上及び受光部上を除いて形成され、上記各層の転送電極上にシャント用金属配線が接続されて成ることを特徴とする固体撮像素子。

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