特許

J-GLOBAL ID：200903055301771406

常圧CVD装置のサセプタ冷却方法及びそのための常圧CVD装置

発明者： 鈴木 繁
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-087872
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286196
出願日： 1999年03月30日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：

【要約】【課題】 サセプタを永久変形させることなく、より短時間に冷却可能にする。【解決手段】 ヒータブロック上に載置されているサセプタ10上にウエハWを載置し、ガスノズル20によりウエハWの表面に反応ガスを吹き付けてCVD膜を形成する常圧CVD装置において、サセプタ10を交換する場合、ヒータブロックの電源を切ると共に、ガスノズル20によりサセプタ10の表面に冷却用ガスを吹き付けてサセプタ10を冷却する。

請求項（抜粋）：

ヒータブロック上に載置されたサセプタ上にウエハを載置し、このウエハの表面に反応ガスを吹き付けてCVD膜を形成する常圧CVD装置のサセプタ冷却方法において、前記ヒータブロックの電源を切ると共に、前記サセプタの表面に冷却用ガスを吹き付けて前記サセプタを冷却することを特徴とする常圧CVD装置のサセプタ冷却方法。

IPC (3件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/205 ,  C23C 16/46 ,  H01L 21/68 N

Fターム (27件)：

4K030AA06 ,  4K030AA16 ,  4K030CA12 ,  4K030EA05 ,  4K030GA02 ,  4K030JA09 ,  4K030KA23 ,  4K030KA26 ,  4K030KA46 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA42 ,  5F031HA57 ,  5F031JA45 ,  5F031JA46 ,  5F031MA28 ,  5F031PA11 ,  5F045AE29 ,  5F045EE14 ,  5F045EF02 ,  5F045EF08 ,  5F045EF10 ,  5F045EJ01 ,  5F045EJ10 ,  5F045EM02