特許

J-GLOBAL ID：200903055323456920

変位検出装置

発明者： 田宮 英明 ,  谷口 佳代子 ,  黒田 明博
出願人/特許権者： ソニー・プレシジョン・テクノロジー株式会社
代理人 (3件)： 小池 晃 ,  田村 榮一 ,  伊賀 誠司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-308931
公開番号（公開出願番号）：特開2004-144581
出願日： 2002年10月23日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】スケールから読み出した信号に基づき原点信号を発生する。【解決手段】所定の間隔で位置情報が記録されている第1の領域12aと、第1の領域12aとは異なる間隔で位置情報が記録されている第2の領域12bとが形成されている移動可能なスケール12と、第1の領域12aに記録されている位置情報を読み取る第1の読取部10と、第1の読取部10により読み出した位置情報に基づき第1の位相を検出する第1の位相検出部14と、第2の領域12bに記録されている位置情報を読み取る第2の読取部11と、第2の読取部11により読み出した位置情報に基づき第2の位相を検出する第2の位相検出部15と、第1の位相と第2の位相とを比較する位相比較部16と、位相比較部16の比較結果に応じて、原点信号を発生する原点信号発生部17を備える。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

所定の間隔で位置情報が記録されている第1の領域と、上記第1の領域とは異なる間隔で位置情報が記録されている第2の領域とが形成されている移動可能なスケールと、 上記第1の領域に記録されている位置情報を読み取る第1の読取手段と、 上記第1の読取手段により読み出した位置情報に基づき第1の位相を検出する第1の位相検出手段と、 上記第2の領域に記録されている位置情報を読み取る第2の読取手段と、 上記第2の読取手段により読み出した位置情報に基づき第2の位相を検出する第2の位相検出手段と、 上記第1の位相と上記第2の位相とを比較する位相比較手段と、 上記位相比較手段の比較結果に応じて、原点信号を発生する原点信号発生手段を備え、 上記第1の領域と上記第2の領域は、同一の測定方向に等量分変位するように上記スケール上に形成され、 上記第1の読取手段により読み取られる上記第1の領域に記録されている位置情報の読み取り位置と、上記第2の読取手段により読み取られる上記第2の領域に記録されている位置情報の読み取り位置とが測定方向に対してインライン上に並んでいることを特徴とする変位検出装置。

IPC (3件)：

G01D5/36 ,  G01B11/00 ,  G01D5/38

FI (5件)：

G01D5/36 K ,  G01D5/36 D ,  G01D5/36 T ,  G01B11/00 G ,  G01D5/38 A

Fターム (35件)：

2F065AA02 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB18 ,  2F065BB27 ,  2F065DD19 ,  2F065FF16 ,  2F065FF48 ,  2F065FF51 ,  2F065GG22 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL02 ,  2F065LL33 ,  2F065LL34 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F103BA32 ,  2F103CA04 ,  2F103DA01 ,  2F103DA12 ,  2F103EB08 ,  2F103EB16 ,  2F103EB32 ,  2F103EC08 ,  2F103EC13 ,  2F103EC14 ,  2F103EC15 ,  2F103FA15