赤外検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：宮田金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-111843
公開番号（公開出願番号）：特開平8-304298
出願日： 1995年05月10日
公開日（公表日）： 1996年11月22日
要約：

【要約】【目的】従来、赤外線カメラ単独では解像度が低いために検出することが困難であった欠陥部周辺の微細な構造まで高い解像度撮像ですることができる検査装置を得る。【構成】 1は被検体、2は微動台、3はプローブ、7はレンズ、8は赤外線カメラ、9はモニタ、12は光源、13は長波長カットフィルタ、14は光ファイバ、15は照明光、そして16は微細な表面像と欠陥像である。

請求項（抜粋）：

レンズによって被検体の赤外線を取り込んで電気信号に変換する赤外線カメラと、この赤外線カメラの電気信号を入力して可視映像を表示するモニタとからなる赤外検査装置において、上記被検体に電気エネルギを供給して赤外線を発生させる電源と、上記赤外線カメラの感度の短波長側に合致する波長を発生する光源とを備えたことを特徴とする赤外検査装置。

IPC (3件)：

G01N 21/88 , G01J 1/42 , G01J 5/48

FI (4件)：

G01N 21/88 E , G01N 21/88 J , G01J 1/42 N , G01J 5/48 C

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