特許

J-GLOBAL ID：200903055336755373

加速度センサ

発明者： 田井 富茂
出願人/特許権者： 日本航空電子工業株式会社
代理人 (1件)： 草野 卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078237
公開番号（公開出願番号）：特開平6-291334
出願日： 1993年04月05日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 バイアスや感度の安定性及び温度特性の向上を図る。【構成】 枠部11内にヒンジ部12を介して板状質量部13が保持され、枠部11と対向してその両側に第1、第2ストッパ14、15が設けられた加速度センサにおいて、枠部11を囲む枠状固定部21を設け、その枠状固定部21に枠部11の一部を支持部22により剛体結合し、枠状固定部21に接着層16を介して第1、第2ストッパ14、15を固定する。枠部11は枠状固定部21と大部分で切り離されているため、外部応力はヒンジ部12にほとんど作用しない。

請求項（抜粋）：

枠部内にヒンジ部を介して板状質量部が保持され、上記枠部と対向してその両側に第1、第2ストッパが設けられた加速度センサにおいて、上記枠部をほぼ囲む枠状固定部が設けられ、その枠状固定部に上記枠部の一部が支持部により互いに剛体結合され、上記枠状固定部に接着層を介して上記第1、第2ストッパが固定されている加速度センサ。