特許

J-GLOBAL ID：200903055338374571

クライオポンプの再生方法及びその実施装置

発明者： 鈴木 智 ,  内田 淳一 ,  小柳 好一 ,  坂口 二郎 ,  坂本 忠夫
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-333411
公開番号（公開出願番号）：特開平7-189905
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 再生時にクライオポンプ内の各構成部品へのストレスを低減することと、クライオポンプの再立上げ時間を短縮すること。【構成】 クライオポンプに再生ガスを導入し、コールドパネルに凝縮、または吸着した気体分子を外部に放出するクライオポンプの再生方法において、前記再生ガスを導入する際にクライオポンプ内を飽和蒸気圧温度以下に保持する。

請求項（抜粋）：

クライオポンプに再生ガスを導入し、コールドパネルに凝縮、または吸着した気体分子を外部に放出するクライオポンプの再生方法において、前記再生ガスを導入する際にクライオポンプ内を飽和蒸気圧温度以下に保持することを特徴とするクライオポンプの再生方法。

IPC (2件)：

F04B 37/08 ,  F04B 49/06 341