光読み出し型放射-変位変換装置及びこれを用いた映像化装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：四宮通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-352389
公開番号（公開出願番号）：特開平11-166859
出願日： 1997年12月05日
公開日（公表日）： 1999年06月22日
要約：

【要約】【課題】冷却器を用いることなく、放射の検出精度及び感度の向上を図る。【解決手段】被支持部3は、脚部2を介して基体1に支持される。基体1は、薄膜部材4と、これを補強する補強部材6とからなる。被支持部3は、バイモルフを構成する膜8,9からなる。膜8,9は、赤外線iを受けて熱に変換し、この熱に応じて変位する。読み出し光反射部として機能する膜9の先端側領域とこれに対向するハーフミラー部11は、窓5を介して読み出し光jを受光して、膜8,9の変位に応じた干渉強度を有する干渉光に変えて入射時の反対方向に出射させる。補強部材6には、不要な読み出し光jを偏向して反射させる傾斜した反射面6aが形成される。

請求項（抜粋）：

基体と、前記基体に支持された被支持部であって、放射を受けて熱に変換する放射吸収部と、該放射吸収部にて発生した熱に応じて前記基体に対して変位する変位部と、を有する被支持部と、読み出し光を受光し、受光した読み出し光を前記変位部の変位に応じた干渉状態を有する干渉光に変えて前記読み出し光の入射方向と反対方向に出射させる干渉手段と、照射される読み出し光のうちの前記干渉手段に受光されて前記干渉光に変換される読み出し光以外の光の大部分を、前記干渉光が前記干渉手段から出射される方向に対して傾いた方向に偏向させて反射させる偏向反射手段と、を備えたことを特徴とする光読み出し型放射-変位変換装置。

IPC (3件)：

G01J 1/02 , G01J 5/40 , H04N 5/33

FI (3件)：

G01J 1/02 C , G01J 5/40 , H04N 5/33

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