特許

J-GLOBAL ID：200903055342295252

TFT基板の検査方法

発明者： 真田 達行
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 柏谷 昭司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-131543
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342170
出願日： 1993年06月02日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：

【要約】【目的】 TFT基板の検査方法に関し、一度のプローブコンタクトによって、ドレインバスライン、または、ゲートバスラインの断線と短絡を同時に検査することができるTFT基板の検査方法を提供する。【構成】絶縁基板の上に平行に形成された複数のドレインバスライン11 ,12・・とゲートバスライン21 ,22 ・・、からなるバスラインを取り囲み、ドレインバスライン短絡配線11s,12s、ゲートバスライン短絡配線21s,22sからなる枠状の短絡配線を形成し、このドレインバスラインを1本置きにこの枠状の短絡配線の対向する辺に接続し、隣接するドレインバスラインの枠状の短絡配線の対向する辺に接続されていない端部P1 ,P2 の間の電気抵抗を測定することによって、ドレインバスラインの断線の有無と、隣接するドレインバスラインの間の短絡の有無を同時に検査する。ゲートバスラインについても同様である。

請求項（抜粋）：

絶縁基板の上に平行に形成された複数のバスラインを取り囲む枠状の短絡配線を形成し、該バスラインを1本置きに該枠状の短絡配線の対向する辺に接続し、隣接する該バスラインの該枠状の短絡配線の対向する辺に接続されていない端部の間の電気抵抗を測定することによって、該バスラインの断線の有無と、隣接する該バスラインの間の短絡の有無を同時に検査することを特徴とするTFT基板の検査方法。

IPC (3件)：

G02F 1/136 500 ,  G01R 31/02 ,  H01L 21/66