特許
J-GLOBAL ID：200903055344482181
結像評価装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-006028
公開番号（公開出願番号）：特開平6-215084
出願日： 1993年01月18日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的は、指定した光源条件で複雑な2次元図形の結像シミュレーションを行う結像評価装置を提供することにある。【構成】 本発明の結像評価装置は、光学基本情報を設定し、この情報から光学系特性情報を演算し、評価対象図形情報を設定し、各情報から像強度分布を演算する構成となっている。上記構成により、本発明の結像評価装置は、複雑な2次元図形の結像シミュレーションを行う。
請求項（抜粋）：
光学系基本情報を設定するする基本情報設定手段と、前記光学系基本情報から光学系特性情報を演算する演算手段と、有効光源情報の設定を行なう光源情報設定手段と、評価対象の図形を結像評価対象図形情報として設定する図形情報設定手段と、前記光学系基本情報、光学系特性情報、有効光源情報、結像評価対象図形情報に基づいて像強度分布を演算する分布演算手段と、演算された像強度分布の表示を制御する制御手段とを有することを特徴とする結像評価装置。
IPC (2件)：
G06F 15/60 450
, G06F 15/20
