真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-304441
公開番号（公開出願番号）：特開2000-130595
出願日： 1998年10月26日
公開日（公表日）： 2000年05月12日
要約：

【要約】【課題】シール性能を向上することができ、シールの分解点検および再組み立てを可能にするとともに、製品歩留りを向上することができる真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構を提供する。【解決手段】内部に回転軸32を挿通支持した中空支持部材31が真空チャンバー100と大気中とに跨るように設置され、回転軸32と中空支持部材31との間の回転軸32の軸方向に1対の空気流防止シール26,塵埃が真空チャンバー100内に飛散するのを防止するダストシール24が大気側より順次装着され、回転軸32、中空支持部材31および1対の空気流防止シール26により形成される第1の空間aの真空引きを行なうとともに、回転軸32、中空支持部材31、空気流防止シール26およびダストシール24により形成される第2の空間bと真空チャンバー100とが真空チャンバー100内への塵埃の飛散を防止するフィルタ22を介して連通されてなる。

請求項（抜粋）：

内部に回転軸を挿通支持した中空支持部材が真空チャンバーと大気中とに跨るように設置され、上記回転軸と上記中空支持部材との間の上記回転軸の軸方向に1対の空気流防止シール,塵埃が上記真空チャンバー内に飛散するのを防止するダストシールが大気側より順次装着され、上記回転軸、上記中空支持部材および上記1対の空気流防止シールにより形成される第1の空間の真空引きを行なうとともに、上記回転軸、上記中空支持部材、上記空気流防止シールおよび上記ダストシールにより形成される第2の空間と上記真空チャンバーとを上記真空チャンバー内への塵埃の飛散を防止するフィルタを介して連通したことを特徴とする真空チャンバーに用いる回転軸のシール機構。

IPC (3件)：

F16J 15/16 , B25J 19/00 , H01L 21/68

FI (3件)：

F16J 15/16 B , B25J 19/00 H , H01L 21/68 A

Fターム (15件)：

3F060AA08 , 3F060AA09 , 3F060GA05 , 3F060HA28 , 3J043AA16 , 3J043BA07 , 3J043CA06 , 3J043CB13 , 3J043CB20 , 3J043DA06 , 5F031CA02 , 5F031CA05 , 5F031GA47 , 5F031NA05 , 5F031PA26

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