特許

J-GLOBAL ID：200903055357424725

角速度センサおよびその製造方法

発明者： 寺田 二郎 ,  竹中 寛 ,  牛原 正晴 ,  西村 仁司 ,  戒能 喜久雄 ,  田村 雅己
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-189971
公開番号（公開出願番号）：特開平6-289043
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1994年10月18日
要約：

【要約】【目的】 圧電素子を含む振動子による音叉構造の高性能な角速度センサおよびその製造方法に関するものである。【構成】 第1の振動ユニット4と、第2の振動ユニット8の2つの振動ユニットとを、検知軸に沿って互いに平行になるように電極ブロックにより連結して音叉構造にすると共に、この第1,第2の検知用素子4,8が圧電素子3を含む矩形平板形状で構成され、少なくともいずれか一方の平板形状の端面を削られて直角形状でない部分を有する。これにより、温度特性に優れ、外乱振動によるノイズが発生しない高性能の角速度センサを得ることができる。

請求項（抜粋）：

第1の駆動用素子と第1の検知用素子とを互いに直交配置してなる第1の振動ユニットと、第2の駆動用素子と第2の検知用素子とを互いに直交配置してなる第2の振動ユニットと、前記第1,第2の振動ユニットを結合する電極ブロックとを有し、前記第1,第2の振動ユニットを検知軸に沿って互いに平行になるように前記第1,第2の振動用素子を前記第1,第2の駆動用素子において前記電極ブロックにより連結してなる音叉構造であると共に、前記第1,第2の検知用素子が圧電素子を含む矩形平板形状で構成され、少なくとも前記第1,第2の検知用素子のいずれか一方の平板形状の端面が削られて直角形状でない部分を有する角速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 9/04 ,  G01C 19/56

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-250309
  
• 特開昭61-181913
  
• 特開平3-134511
  
• 角速度センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-209192   出願人：松下電器産業株式会社