特許

J-GLOBAL ID：200903055358958804

プラズマ計測装置

発明者： 阿部 隆夫 ,  庄司 多津男
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社 ,  庄司 多津男
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-029173
公開番号（公開出願番号）：特開平6-243991
出願日： 1993年02月18日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：

【要約】【目的】本発明は、プラズマに非接触で瞬時にプラズマ断面の電子密度および電子温度の空間分布を測定でき、プラズマ特性を推定できるプラズマ測定装置を提供する。【構成】真空容器11内部に発生するプラズマ12から放射される任意の波長のスペクトルを光学フィルタ13により選択するとともに、この光学フィルタ14で選択された任意波長のスペクトルの強度をCCDカメラ16で検出し、このCCDカメラ16からの検出出力を演算装置17に与え、ここでの演算処理によりプラズマ電子密度および電子温度の空間分布を計測する。

請求項（抜粋）：

電子、イオンおよび中性粒子からなるプラズマから放射される任意の波長のスペクトルを選択する光学フィルタと、この光学フィルタで選択された任意波長のスペクトルの強度を検出する固体撮像素子と、この固体撮像素子の検出出力を演算処理してプラズマ電子密度および電子温度の空間分布を計測する手段とを具備したことを特徴とするプラズマ計測装置。