機能性フィルムの成膜装置及び成膜方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-307937
公開番号（公開出願番号）：特開平8-165559
出願日： 1994年12月12日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】フィルムの幅方向の膜厚分布均一性向上し、機能性フィルムの機能を有する有効幅を大きくし、生産性を高めることのできる機能性フィルムの成膜装置及び成膜方法を提供すること。【構成】真空系内にフィルム基材を搬送し、フィルム基材上に蒸着により薄膜層を形成してなる機能性フィルムの成膜装置において、前記フィルム基材と蒸着源(8)との間に、フィルム基材の移動方向における被蒸着物質の入射面積がフィルム基材の幅方向ごとに任意に変動可能となる複数の仕切り(16)が設けられてなることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

真空系内にフィルム基材を搬送し、フィルム基材上に蒸着により薄膜層を形成してなる機能性フィルムの成膜装置において、前記フィルム基材と蒸着源との間に、フィルム基材の移動方向における被蒸着物質の入射面積がフィルム基材の幅方向ごとに任意に変動可能となる複数の仕切りが設けられてなることを特徴とする機能性フィルムの成膜装置。

IPC (3件)：

C23C 14/20 , C23C 14/24 , C08J 7/06

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