集積光学多重チャネルを切替えるためのスイッチ及びシステム、並びに該スイッチの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-063490
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222402
出願日： 1991年03月27日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】集積光学多重チャネルを切替えるためのスイッチ及びシステムと該スイッチの製造方法を提供する。【構成】バッファフィルム12及び基板2に形成された凹部24と、1つの入力側マイクロガイド18と、2つの隣接した出力側マイクロガイドとを含み、これらの入力側及び出力側マイクロガイドが凹部の両側に位置して第1の方向とほぼ平行に延びており、またバッファフィルム中には全長にわたって中央マイクロガイド32を含む可撓性ガーダ26が形成されており、このガーダの一方の端部が自由端であって凹部内で基板の面と平行で第1の方向と直交する第2の方向に従って変形し得、中央マイクロガイドが入力側マイクロガイドの延長上にあり、この中央マイクロガイドの自由端部が励起手段36,38、44、46、40、48によりいずれか1つの出力側マイクロガイドの延長上に移動可能である。

請求項（抜粋）：

a)単結晶質基板と、b)前記基板に支持された少なくとも1つのバッファフィルムと、c)前記基板及びバッファフィルムにわたって形成された少なくとも1つの凹部と、d)切替えるべき入射光ビームを伝搬すべく前記バッファフィルムに支持されて前記基板の表面と平行な第1の方向に延びる少なくとも1つの入力側光マイクロガイドと、e)切替えられた光ビームを伝搬すべく前記バッファフィルムに支持されて前記第1の方向とほぼ平行に延びる少なくとも2つの隣接した出力側光マイクロガイドと、f)バッファフィルム中に設けられた少なくとも1つの可撓性ガーダと、g)前記ガーダを変形させるための励起手段とを含み、前記出力側マイクロガイド及び入力側マイクロガイドが前記凹部を挟んで互いの延長上に位置し、前記可撓性ガーダがその全長にわたって前記第1の方向に延びる中央光マイクロガイドを備えていると共に、基板と一体的な固定端部と、前記凹部内で基板表面と平行で前記第1の方向と直交する第2の方向に沿って変形し得る自由端部とを有し、前記中央マイクロガイドが入力側マイクロガイドの延長上に位置し、前記励起手段が入射ビームの切替えを行うべく中央マイクロガイドの自由端部をいずれか1つの出力側マイクロガイドの延長上に移動させるために前記ガーダを前記第2の方向に沿って変形させるようになっている可逆的多重チャネル集積光スイッチ。

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