特許
J-GLOBAL ID：200903055366888130
セラミックスヒーター及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-302357
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151044
出願日： 1992年11月12日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 作製時の抵抗発熱体の劣化がなく、均熱性と品質の安定性とを確保できるセラミックスヒーター及びその製造方法を提供する。【構成】 焼結したセラミックスからなる上下基板1、2の間に、接合用のガラス3を介してシート状抵抗発熱体4をはさみ、必要に応じて上記構造を多層化し、前記セラミックスの焼結温度より低温でガラス封着し、緻密質セラミックスからなる上下基板1、2と、これら上下基板の間に設けたガラス層3と、このガラス層中に埋設したシート状抵抗発熱体4とからなる構造、さらには必要に応じ上記構造を多層化した構造のセラミックスヒーターを得る。
請求項（抜粋）：
緻密質セラミックスからなる上下基板と、これら上下基板の間に設けたガラス層と、このガラス層中に埋設したシート状抵抗発熱体とからなることを特徴とするセラミックスヒーター。
IPC (2件)：
H05B 3/20 328
, H05B 3/14
