特許
J-GLOBAL ID：200903055368856716
表面洗浄装置のノズル位置調整機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-062433
公開番号（公開出願番号）：特開平11-253901
出願日： 1998年03月13日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：
【要約】【課題】 ウェハ洗浄装置において熱交換器に直結されたノズルの位置及び姿勢を短時間で容易に調整可能とし、調整時のゴミの発生も少なくする。【解決手段】 床に固定された架台90の上部に配設された、該架台90に対してノズル42が直結された熱交換器80を平面方向の直交2軸方向に摺動可能とするXY方向摺動機構120と、前記架台90に対する前記熱交換器80の平面(XY)方向及び上下(Z)方向の位置を調整するためのX方向位置調整ボルト140及びY方向位置調整ボルト146と、前記架台90に対する前記熱交換器80の上下(Z)方向位置及びノズルの軸に関する回転角を調整するためのZ方向位置調整ボルト150と、ノズル先端の左右(Y)方向位置及び上下(Z)方向位置を調整するためのノズル先端位置調整用のY方向位置調整ボルト174及びZ方向位置調整ボルト176を備える。
請求項（抜粋）：
熱交換器により冷却したガスを、該熱交換器に直結したノズルから噴射して、被洗浄物の表面を洗浄する表面洗浄装置のノズル位置調整機構において、床に固定された架台の上部に配設された、該架台に対して前記熱交換器を平面方向の直交2軸方向に摺動可能とする摺動手段と、前記架台に対する前記熱交換器の平面方向及び上下方向の位置を調整するための平面位置調整ねじと、前記架台に対する前記熱交換器の上下方向位置及びノズルの軸に関する回転角を調整するための上下位置及び回転角調整ねじと、を備えたことを特徴とする表面洗浄装置のノズル位置調整機構。
IPC (2件)：
B08B 5/02
, H01L 21/304 643
B08B 5/02 Z
, H01L 21/304 643 C
