特許

J-GLOBAL ID：200903055372649334

基板および基板保持方法ならびにその装置

発明者： 是永 伸茂
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-111991
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297118
出願日： 1994年04月27日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 磁石や真空吸着力を用いることなくマスク等基板を保持する。【構成】 マスク10はマスクフレーム1とその中央に設けられたマスク基板2を有し、マスクフレーム1の外周部には、切欠1cによって形成された薄肉部からなる3個のZクランプ部3と、外方へ突出する突出部材からなる3個のXYθクランプ4が設けられている。図示しない基板保持装置の台盤上において、各Zクランプ部3を垂直方向に開閉する一対の垂直挟持部材(垂直挟持力F1 で示す)によって挟持し、各XYθクランプ部4を水平方向に開閉する一対の水平挟持部材(水平挟持力F2 で示す)によって挟持することでマスク10を位置決めし、これを安定保持する。

請求項（抜粋）：

平板状の主要部の外側に少なくとも3個の第1の保持部と少なくとも3個の第2の保持部を備えており、前記第1の保持部のそれぞれが前記主要部の表面に対してそれぞれ平行で互に逆向きの一対の水平当接面を有し、前記第2の保持部のそれぞれが前記主要部の表面に対してそれぞれ垂直で互に逆向きの一対の垂直当接面を有することを特徴とする基板。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  B23Q 1/44 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 503 D ,  H01L 21/30 541 L ,  B23Q 1/02 T