微小電子源

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：有我軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-288476
公開番号（公開出願番号）：特開2000-123716
出願日： 1998年10月09日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】本発明は、NEAフォトカソードと同等の集積化が可能なレーザ発光素子を使用し、高輝度かつ低エネルギー分散特性を有する電子ビームを得ることができる微小電子源の構成を提案し、装置構成を小型化して、スループットの向上を図ることができる電子ビーム装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明の微小電子源は、半導体基板上に構成されたレーザ発光素子10と、半導体基板上に構成された電子放出素子20とを基本構成として有している。レーザ発光素子10は、例えば面発光レーザ等のように、半導体基板の一面側から該基板の主面に対して垂直方向にレーザ光Aを放出する特性を有している。また、電子放出素子20は、例えばフォトカソード等のように、基板の一面(裏面)側に照射された励起光により、半導体基板中の電子が励起し、他面(表面)側から垂直方向に電子(電子ビーム)Bを放出する特性を有している。

請求項（抜粋）：

第1の半導体基板に構成され、該第1の半導体基板に対して垂直方向にレーザ光を放出するレーザ発光素子と、第2の半導体基板に構成され、前記レーザ発光素子から放出されたレーザ光が一面側に照射されることにより、他面側から電子ビームを放出する電子放出素子と、を具備することを特徴とする微小電子源。

IPC (3件)：

H01J 1/34 , H01J 37/073 , H01S 5/18

FI (3件)：

H01J 1/34 C , H01J 37/073 , H01S 3/18 650

Fターム (9件)：

5C030CC02 , 5C030CC10 , 5C035CC07 , 5C035CC10 , 5F073AB05 , 5F073AB16 , 5F073AB25 , 5F073AB27 , 5F073BA09

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