特許
J-GLOBAL ID:200903055388162893
波面収差測定器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
韮澤 弘 (外7名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-022635
公開番号(公開出願番号):特開平6-235619
出願日: 1993年02月10日
公開日(公表日): 1994年08月23日
要約:
【要約】【目的】 参照波面と被検物体からの物体波面とにより生じる干渉縞から収差の種類、量を瞬時に出力できる波面収差測定器。【構成】 参照波面と物体波面とにより生じる干渉縞2に対して座標変換を施すホログラム素子3、及び、ホログラム素子3により変換された画像を入力信号とし、その信号を受容する複数のニューロン群よりなる入力層と、前段の層のニューロン群の興奮パターンを受容してパターン変換を行った後、次の段へ興奮パターンを出力するニューロン群よりなる1層又は複数層の中間層と、最終の中間層のニューロンの興奮パターンを受容して変換して出力を出す出力層とからなるニューラルネットワーク5を有する。
請求項(抜粋):
参照波面と被検物体からの物体波面とにより生じる干渉縞に対して座標変換を施すホログラム素子、及び、前記ホログラム素子により変換された画像を入力信号とし、その信号を受容する複数のニューロン群よりなる入力層と、前段の層のニューロン群の興奮パターンを受容してパターン変換を行った後、次の段へ興奮パターンを出力するニューロン群よりなる1層又は複数層の中間層と、最終の中間層のニューロンの興奮パターンを受容して変換して出力を出す出力層とからなるニューラルネットワークを有する波面収差測定器。
IPC (3件):
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01M 11/00
引用特許:
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