分光測光器

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西岡義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-029618
公開番号（公開出願番号）：特開2000-227360
出願日： 1999年02月08日
公開日（公表日）： 2000年08月15日
要約：

【要約】【課題】反射率スペクトルデータを得るための基準試料上に不整がある場合でも、不整の影響の大幅低減または除去が可能な機能を有する自動分光測光器を提供する。【解決手段】分光器ユニット11と基準試料2との相対的位置関係をスリット6に直交する方向に順次自動的に走査しながら、スリット6により1次元方向に制限された基準試料2からの反射光を分光し光検出器10で検出する。これらの値をコンピュータ16に順次メモリーしていくことによって得られた基準試料表面の2次元領域測定データを走査方向に平均化演算処理して、1次元方向の各々の点の基準値とし、光源1の照明ムラの影響を加味しつつ不整の影響を低減しまたは除去する。

請求項（抜粋）：

試料からの反射光をスリットにより1次元方向に制限した後に分光し、分光された反射光を、2次元方向に配列された複数の光検出素子からなる受光面を有する光検出器で検出し、試料の1次元領域内の各位置毎に反射光の波長別の光強度を測定する構成の分光測光器において、反射率を求めるため前記スリットに直交する方向に光学系を走査しながら、基準試料の2次元領域の各々の点に対する波長別の光強度を測定する手段と、前記基準試料の前記一次元領域内の各々の測定点についての複数の測定結果を走査方向に平均化して得られる複数の値を前記1次元方向の各々の点における基準値として保持する手段を有し、サンプルについて光学系を前記スリットに直交する方向に走査しながら測定することによって2次元領域の各々の点に対して得られる測定結果を保持して、1次元方向の各々の点における前記基準値を演算処理することにより、前記サンプルの2次元領域にわたって基準試料に対する反射率スペクトルを得るようにしたことを特徴とする分光測光器。

Fターム (8件)：

2G020AA04 , 2G020CB43 , 2G020CC43 , 2G020CD04 , 2G020CD12 , 2G020CD24 , 2G020CD37 , 2G020CD41

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