特許

J-GLOBAL ID：200903055397261268

基板検査装置

発明者： 対馬 司
出願人/特許権者： 富士ゼロックス株式会社
代理人 (1件)： 山内 梅雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-191377
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054320
出願日： 1994年08月15日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】 RGBディスプレイ基板から出力されるRGB信号のレベルの不良を迅速かつ正確に検出する。【構成】 RGBディスプレイ基板としての被検査装置21には、1走査ラインの各RGBに対応するピクセルのそれぞれに全階調を順に表示させるための検査信号31が入力される。被検査基板21のRGBの出力端子からクロック信号45に同期して出力されるアナログ信号32は、RGB切替スイッチ33でRGBのうちの1つが選択され、第1および第2のコンパレータ36、37で許容レベルに納まっているかを順に判別される。許容範囲外であった場合には、第1のカウンタ51のカウント値をアドレスとして、第2のカウンタ52のカウント値を位置情報とするデータが不良内容を示す情報としてRAM55に格納される。

請求項（抜粋）：

所定の時点からの時間の経過を測定する時間測定手段と、表示画面の所定の走査範囲のそれぞれの走査位置にRGBの各色で所定の複数の階調が時間測定手段で測定された時間の経過に応じて順に表示されるような信号処理を指示したテスト用信号を検査対象としてのRGBディスプレイ基板に入力するテスト用信号供給手段と、このテスト用信号の入力によってRGBディスプレイ基板から出力されるRGBの各信号がそれぞれ設定された階調を表わしているかどうかを前記時間測定手段の測定した時間との関係で順に判別する判別手段と、この判別手段の判別した判別結果のうち設定された階調を表わしていないとされるものを前記時間測定手段の測定した時間と対応付けて記憶する記憶手段とを具備することを特徴とする基板検査装置。