特許

J-GLOBAL ID：200903055400859706

スパッタリング装置、防着板および光情報記録媒体

発明者： 塩澤 俊則
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-247671
公開番号（公開出願番号）：特開2003-055755
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 静止対向型スパッタリング装置における付着膜の堆積による、成膜特性の劣化を防止し、成膜が行われる基板内の特性の均一化を図ることが可能なスパッタリング装置と、交換周期を長周期化可能で生産性の向上を図ることができる防着板とを提供する【解決手段】 ターゲット11をスパッタリングすることによって、基板12の成膜面上にターゲット材料を成膜可能に構成したスパッタリング装置において、少なくとも基板12の外周外側に、余剰のターゲット材料がチャンバの内壁に付着するのを防止するための防着板15を設ける。基板12の外周より外側を覆う防着板15の堆積膜16が堆積する面における、基板12の成膜面からの角度φを15°以下にする。

請求項（抜粋）：

ターゲット材料をスパッタリングすることにより、基板上に上記ターゲット材料を含有する膜を成膜可能に構成されているとともに、少なくとも上記基板の外周外側に防着板が設けられたスパッタリング装置において、上記防着板における上記ターゲット材料の堆積面が、上記基板の成膜面から15°以下の角度であることを特徴とするスパッタリング装置。

IPC (2件)：

C23C 14/00 ,  G11B 7/26 531

FI (2件)：

C23C 14/00 B ,  G11B 7/26 531

Fターム (11件)：

4K029BA46 ,  4K029BA58 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K029DA10 ,  4K029DC02 ,  5D121AA01 ,  5D121AA03 ,  5D121EE03 ,  5D121EE20 ,  5D121EE24