特許

J-GLOBAL ID：200903055401162610

エッチングレジスト用硬化型組成物

発明者： 名越 裕之 ,  丹羽 真 ,  五十嵐 一郎
出願人/特許権者： 東亞合成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-064376
公開番号（公開出願番号）：特開2003-262955
出願日： 2002年03月08日
公開日（公表日）： 2003年09月19日
要約：

【要約】【課題】硬化性に優れ、さらに高いエッチング温度においても、その硬化膜が搬送性、耐エッチング性及びアルカリ溶解・剥離性に優れるエッチングレジスト用硬化型組成物、特にシャドウマスク製造時の裏止め材用組成物として有用な組成物の提供。【解決手段】硬化物の動的粘弾性における貯蔵弾性率(E')と損出弾性率(E'')との比であるtanδ(E''/E')の最大値が50〜80°Cの範囲にあり、かつtanδの値が0.4以上であるエッチングレジスト用硬化型組成物。

請求項（抜粋）：

硬化物の動的粘弾性における貯蔵弾性率(E')と損出弾性率(E'')との比であるtanδ(E''/E')の最大値が50〜80°Cの範囲にあり、かつtanδの値が0.4以上であることを特徴とするエッチングレジスト用硬化型組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/40 521

FI (4件)：

G03F 7/027 502 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 501 ,  G03F 7/40 521

Fターム (18件)：

2H025AA13 ,  2H025AA16 ,  2H025AB08 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC33 ,  2H025BC62 ,  2H025BC85 ,  2H025BJ07 ,  2H025CA27 ,  2H025CC20 ,  2H025FA40 ,  2H096AA24 ,  2H096AA30 ,  2H096BA05 ,  2H096BA06 ,  2H096HA17