電子線発生装置およびその製造方法および画像形成装置およびその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-172424
公開番号（公開出願番号）：特開平9-022649
出願日： 1995年07月07日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】電子源と加速電極との間に絶縁材料で構成されるスぺーサ等の部材を配置した際において、当該部材の近傍の発光輝度の低下や色滲みなどの画像劣化を抑制する。【解決手段】スぺーサ94の表面を覆っている半導電性膜120の上部は加速電極97と、その下部は行方向電極93と電気的に接続している。この半導電性膜120の製造にあたっては、半導電性膜を形成する原料ガスの雰囲気中において、電子放出部92に電子を放出させつつ、加速電極97に電圧を印加(0Vから駆動時の加速電圧)することによって行う。駆動時において、この半導電性膜120の存在により、スぺーサ94の帯電を防止することができ、結果として、放出された電子の軌道がずれることを抑制することができる。

請求項（抜粋）：

電子線を発生する電子線発生装置であって、電子を放出する電子放出素子を配列してなる電子源と、前記電子放出素子に対向して配され、前記電子放出素子が放出した放出電子に加速電圧を与える加速電極と、前記電子源と前記加速電極との間に位置し、その表面の全部または一部に半導電性膜を形成され、該半導電性膜は前記電子源の基板上の電源線と電気的に接続された絶縁性部材と、を備えることを特徴とする電子線発生装置。

IPC (3件)：

H01J 1/30 , H01J 9/02 , H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 1/30 Z , H01J 9/02 B , H01J 31/12 C

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