特許
J-GLOBAL ID：200903055410315046
レジスト再生方法およびレジスト再生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-234081
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082602
出願日： 1995年09月12日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【課題】生産コストを低減し、環境保全を図ることができるレジスト再生方法およびレジスト再生装置を提供する。【解決手段】レジスト塗布装置から排出されるレジストと有機溶剤の混合液を回収し、有機溶剤を揮発させて混合液を濃縮し(1)、揮発した有機溶剤を液化し(4)、この液化された有機溶剤を濃縮混合液に加えることにより混合液の粘度を所望の値に調整し(7)、所望の粘度に調整された混合液を脱気し(9)、脱気された混合液を濾過することにより汚染物を除去する(10)。
請求項（抜粋）：
レジスト塗布装置から排出されるレジストと有機溶剤の混合液を回収する工程と、前記有機溶剤を揮発させて前記混合液を濃縮する工程と、揮発した前記有機溶剤を液化する工程と、有機溶剤を前記濃縮混合液に加えることにより前記混合液の粘度を所望の値に調整する工程とを具備することを特徴とするレジスト再生方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 564 Z
, C08J 11/02
