特許

J-GLOBAL ID：200903055413257470

外観検査方法及びその装置

発明者： 高橋 武博
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-077711
公開番号（公開出願番号）：特開2004-286532
出願日： 2003年03月20日
公開日（公表日）： 2004年10月14日
要約：

【課題】ロット検査の途中で検査終了処理が行なわれても、ロット検査途中の被検査対象物での欠陥部の発生の傾向を、無駄な検査を行なわずに確実に把握すること。【解決手段】複数のLCD基板2の各原画像データをそれぞれ画像処理してLCD基板2の欠陥部G1、G2を抽出してその結果画像データを取得し、かつ原画像データを複数の座標領域(0,0)、(0,1)、...、(4,3)に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と結果画像データとの座標位置を一致させ、重ね合わせて各座標領域毎に欠陥部G1、G2の数を加算する。【選択図】 図7

請求項（抜粋）：

複数の被検査対象物の各撮像画像データをそれぞれ画像処理して前記被検査対象物の欠陥部を抽出してその欠陥抽出画像データを取得する工程と、 前記撮像画像データを複数の座標領域に分割する座標情報を読み出し、この座標領域と前記欠陥抽出画像データとの座標位置を一致させて前記各座標領域毎に前記欠陥部の数を加算する工程と、 前記欠陥部の加算結果から前記被検査対象物の良否判定を行う工程と、 を有することを特徴とする外観検査方法。

IPC (3件)：

G01N21/956 ,  G01N21/958 ,  G02F1/13

FI (3件)：

G01N21/956 A ,  G01N21/958 ,  G02F1/13 101

Fターム (12件)：

2G051AA51 ,  2G051AA73 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051EA20 ,  2G051EC01 ,  2G051ED04 ,  2G051ED09 ,  2H088FA12 ,  2H088FA13 ,  2H088MA20