特許
J-GLOBAL ID：200903055415561746
軽量テーブル及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
湯浅 恭三 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-183608
公開番号（公開出願番号）：特開平7-237062
出願日： 1988年11月16日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 座標駆動部材を正確にそして滑らかに位置決めする装置において使用される軽量のテーブル及びその製造方法を提供すること。【構成】 軽量のテーブルは、平坦な作業表面を画成する第1シート92、平坦な底面を画成する第2シート94、及びテーブルの一般的形状を画成する内部構造体88を有する。内部構造体88の第1面が第1シート92の面に接着剤層95により結合され、内部構造体88の第2面が第2シート94の面に接着剤層95により結合される。内部構造体は、更に複数の側面を画成する横方向外側へ延びる縁を有し、複数の側面シート99各々が内部構造体の側面の各々の1個に接着剤層により結合される。内部構造体88の複数の側面と第1シート92及び第2シート94の間の境界面に存在する接着剤95が境界面をシールし内部構造体88に空気密封性の周囲面を提供する。
請求項（抜粋）：
2次元位置決め装置のための軽量テーブルにおいて、平坦な作業表面を画成する第1シート(92)、平坦な底面を画成する第2シート(94)、及び該テーブルの一般的形状を画成する内部構造体(88)を有し、内部構造体が第1面及び第1面と反対側の第2面を有し、内部構造体の第1面が平坦な作業表面と反対側の第1シート(92)の面に接着剤層(95)により結合され、内部構造体の第2面が平坦な底面と反対側の第2シート(94)の面に接着剤層(95)により結合され、内部構造体が第1シート及び第2シートを互いに平行で間隔を置いた関係に位置させ、内部構造体が更に複数の側面を画成する横方向外側へ延びる縁を有し、複数の側面シート(99)が内部構造体の複数の側面の数に対応し、複数の側面シート(99)の各々が内部構造体の側面の各々の1個に接着剤層により結合され、複数の側面と第1シート及び第2シートの間の境界面に存在する接着剤(95)が該境界面をシールし内部構造体に空気密封性の周囲面を提供することを特徴とするテーブル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B23Q 1/18 A
, B23Q 1/02 T
