特許
J-GLOBAL ID：200903055415850691
空間光変調器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-097041
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334709
出願日： 1996年04月18日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【課題】 より効率的なリセット動作等DMDの性能を向上する。【解決手段】 増加した性能パラメータを有するDMD型の空間光変調器(10)である。画素ミラー(30)がヨーク(32)によって支持され、幾つかの構造体の間に電子静電引力(70,76,80,82)が生じる。まず、高架ミラー(30)と高架アドレス電極(50,52)の間、次に、ヨーク(32)と下部アドレス電極(26,28)の間に生じる。画素(30)は、従来の世代のデバイスに比べ、高アドレス・トルク、高ラッチ・トルク、高い復元力、及びより大きなマージンを達成する。基板アドレス電極(26,28)上のヨーク(32)の近接により、大きな引力が実現され、画素はアドレス・アップセットに感度が低く、より小さなリセット電圧を必要とし、スイッチスピードをより早める。
請求項（抜粋）：
空間光変調器であって、基板と、前記基板に近接して提供される第1の部分と、前記基板上に高架される第2の部分とを有するアドレス回路と、前記アドレス回路の第1の部分上に支持されるヨークと、前記ヨークに接続され、前記ヨークを支持する少なくとも1つのヒンジであって、前記ヒンジは前記ヨークを撓ませ、前記ヨーク上に高架され、ヨークによって支持され、前記高架アドレス回路の第2の部分上に位置付けられる画素とを含む空間光変調器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 26/08 E
, H04N 5/74 B
