特許

J-GLOBAL ID：200903055419560612

印刷フォーム前駆体およびこの前駆体からのスタンプの製造方法

発明者： マリア ペトルーシ-サミージャ ,  グラシエラ ベアトリズ ブランシェ ,  ロバート ブロムクイスト ,  イ ヘ ヒュン
出願人/特許権者： イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー
代理人 (2件)： 谷 義一 ,  阿部 和夫
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-518186
公開番号（公開出願番号）：特表2009-543340
出願日： 2007年06月22日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：

本発明は、印刷フォーム前駆体とこの前駆体からのソフトリソグラフィー用途に用いるためのスタンプの製造方法とに関する。印刷フォーム前駆体は、化学線に対する露光の際に重合できるフッ素化化合物の組成物層と組成物層に隣接し、化学線に対して透明な可撓性支持体とを含む。

請求項（抜粋）：

化学線への露光によって重合できるフッ素化化合物を含む組成物の層と、この層に隣接し、化学線に対して透明な可撓性フィルムの支持体とを含むことを特徴とするレリーフ構造を形成するための印刷フォーム前駆体。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  C08G 65/331 ,  C08F 299/00 ,  B29C 59/02

FI (4件)：

H01L21/30 502D ,  C08G65/331 ,  C08F299/00 ,  B29C59/02 Z

Fターム (35件)：

4F209AA16 ,  4F209AA43 ,  4F209AA44 ,  4F209AF01 ,  4F209AG05 ,  4F209AH33 ,  4F209AH73 ,  4F209PA02 ,  4F209PB01 ,  4F209PN09 ,  4F209PQ11 ,  4J005AA11 ,  4J005BA00 ,  4J127AA03 ,  4J127AA04 ,  4J127BB031 ,  4J127BB111 ,  4J127BB221 ,  4J127BC021 ,  4J127BC151 ,  4J127BD221 ,  4J127BE34Y ,  4J127BE341 ,  4J127BF27X ,  4J127BF271 ,  4J127BG08Y ,  4J127BG081 ,  4J127BG14Y ,  4J127BG141 ,  4J127BG17Y ,  4J127BG171 ,  4J127EA13 ,  4J127FA16 ,  4J127FA19 ,  5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (8件)

• 国際公開第2005/101466 A2号パンフレット
  
• 米国特許第6,656,308 B2号明細書
  
• 米国特許第3,810,874号明細書
  
• 米国特許第3,849,504号明細書
  
• 米国特許第5,391,587号明細書
  
• 米国再発行特許第RE35,060号明細書
  
• 米国特許第2,760,863号明細書
  
• 米国特許第3,036,913号明細書
  

審査官引用 (2件)

• 分散疎水性光重合可能相を有する2-相層を含む画像形成要素
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-052536   出願人：アグフア-ゲヴエルト・ナームローゼ・フエンノートシヤツプ
• 体積型ホログラム記録用感光性組成物、体積型ホログラム記録用感光性媒体、及び体積型ホログラム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2003-172518   出願人：大日本印刷株式会社