変位測定装置

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：伊東忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-289526
公開番号（公開出願番号）：特開平7-139968
出願日： 1993年11月18日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】本発明は装置の異常検出を行いうる異常検出手段を有する変位測定装置に関し、徐々に進行する異常に対しても適切に異常発生を報知することを目的とする。【構成】エンコーダ(A1)を用いて被測定物の変位測定を行う変位測定装置において、基準位置における測定誤差を検出する測定誤差検出手段(A2)と、この測定誤差検出手段(A2)により検出される測定誤差が所定値以下の場合この測定誤差の値を格納する累積許容差格納手段(A3)と、累積許容差格納手段(A3)に格納される測定誤差の値の変化傾向から装置異常の発生を判断する装置異常判定手段(A4)とを設けたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

エンコーダを用いて被測定物の変位測定を行う変位測定装置において、基準位置における測定誤差を検出する測定誤差検出手段と、該測定誤差検出手段により検出される測定誤差が所定値以下の場合、該測定誤差の値を格納する累積許容差格納手段と、該累積許容差格納手段に格納される該測定誤差の値の変化傾向から装置異常の発生を判断する装置異常判定手段とを設けたことを特徴とする変位測定装置。

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