特許

J-GLOBAL ID：200903055429868070

インクジェットヘッドおよび該ヘッドを備えたインクジェット記録装置

発明者： 鈴木 敏夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-091343
公開番号（公開出願番号）：特開平6-297713
出願日： 1993年04月19日
公開日（公表日）： 1994年10月25日
要約：

【要約】【目的】 キャビテーション破壊および絶縁保護層中の異物による発熱抵抗体の断線を防止することにより、より高耐久性で、製造歩留が高く、安価なインクジェットヘッドを提供することを目的とする。【構成】 吐出口5に連通する路と、該路に配され、前記吐出口からインクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱抵抗体11と該発熱抵抗体に電気的に接続された一対の電極8を有し、それらの上部に絶縁保護層9と耐キャビテーション膜9’が順に積層されており、前記発熱抵抗体が発生する熱エネルギーを利用して前記吐出口からインクを吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記耐キャビテーション膜の膜厚が0.7〜2.0μmであり、内部応力が1×108 〜1×1010dyn/cm2 の圧縮応力であるインクジェットヘッドである。

請求項（抜粋）：

インクを吐出する吐出口に連通する路と、該路に配され、前記吐出口からインクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する発熱抵抗体と該発熱抵抗体に電気的に接続された一対の電極を有し、それらの上部に絶縁保護層と耐キャビテーション膜が順に積層されており、前記発熱抵抗体が発生する熱エネルギーを利用して前記吐出口からインクを吐出させるインクジェットヘッドにおいて、前記耐キャビテーション膜の膜厚が0.7〜2.0μmであり、内部応力が1×108 〜1×1010dyn/cm2 の圧縮応力であることを特徴とするインクジェットヘッド。