特許
J-GLOBAL ID：200903055450410483
弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柿本 恭成
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-252561
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090866
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 微妙な温度制御を必要とするエッチング工程を省略し、電極指幅の減少による周波数特性の劣化を防止し、再現性良く、中心周波数を調整する。【構成】 周波数測定処理11では、圧電基板上に形成されたすだれ状電極に通電して中心周波数を測定し、その周波数測定結果が所望の中心周波数と一致するか否かを周波数判定処理12で判定する。周波数測定値が所望の中心周波数よりも低い時には、アニール処理13で、圧電基板表面を所定の時間及び温度で加熱すると、弾性表面フイルタの中心周波数が高い方にシフトして所望の中心周波数と一致するようになる。
請求項（抜粋）：
電気信号を弾性表面波に変換した後にその弾性表面波を再度電気信号に変換するすだれ状態電極を、圧電基板上に形成した狭帯域の弾性表面波フイルタにおいて、前記すだれ状電極に通電して中心周波数を測定し、該測定値が所望の値になるまで、前記圧電基板の表面を所定の時間及び温度でアニールすることを特徴とする弾性表面波フイルタの中心周波数調整方法。
IPC (3件)：
H03H 3/10
, H03H 9/25
, H03H 9/64
