特許
J-GLOBAL ID：200903055461311240
ミラーパッケージおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
八田 幹雄
, 奈良 泰男
, 宇谷 勝幸
, 藤田 健
, 都祭 正則
, 長谷川 俊弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-344906
公開番号（公開出願番号）：特開2007-188075
出願日： 2006年12月21日
公開日（公表日）： 2007年07月26日
要約：
【課題】外部から入射されたレーザを映像信号に従って外部スクリーンに反射させるミラーを備えたミラーパッケージおよびその製造方法を提供する。【解決手段】ミラー210の部分をガラスウエハ200でパッケージングし、ガラスウエハ200上に異方性エッチングによって形成された入射ホール110および出射ホール120が形成されたシリコンウエハ100を接合する。その後、ミラー210と入射ホール110および出射ホール120がそれぞれのセットとなるようにダイシングする。このように構成することで、生産性が向上するのはもちろん、ゴースト現象が除去される。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
外部からレーザが入射され、映像信号によって外部スクリーンに前記レーザを反射させるミラー構造を備えたミラーパッケージの製造方法において、
シリコンウエハを提供する段階と、
前記シリコンウエハを異方性エッチングして前記レーザが通過して入力されることができる入射ホールと、前記レーザが通過して出射されることができる出射ホールを形成する段階と、
前記シリコンウエハ、透明な材質の透明ウエハ、およびミラーが複数形成されたミラーウエハを接合してウエハ構造体を形成する段階とを有し、
前記シリコンウエハは、前記入射ホールおよび前記出射ホールの開口が広く形成された面が前記透明ウエハと接するように接合することを特徴とするミラーパッケージの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2H045AB06
, 2H045AB08
, 2H045AB10
, 2H045AB73
