特許
J-GLOBAL ID：200903055479368141
複合型顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-337757
公開番号（公開出願番号）：特開平10-142238
出願日： 1996年11月08日
公開日（公表日）： 1998年05月29日
要約：
【要約】【課題】 観察倍率が異なる2台の顕微鏡を複合し、各顕微鏡の測定性能が他の顕微鏡によって阻害されず、観察倍率を指定するのみで容易に観察像が得られ、2台の顕微鏡があたかも1台の顕微鏡として扱えるようにする。【解決手段】 相対的に高い第1観察倍率範囲を有し試料12の表面物理量を測定する走査型プローブ顕微鏡と、相対的に低い第2観察倍率範囲を有し試料の表面を観察する光学顕微鏡31と、走査型プローブ顕微鏡と光学顕微鏡の両方に共通なモニタ34と、観察倍率を指示する指示部39と、指示部で指示された観察倍率を判定して走査型プローブ顕微鏡と光学顕微鏡のいずれかを選択し、選択された顕微鏡を用いてかつ指示された観察倍率によって測定・観察を行い、モニタに観察像を表示するコントローラ35とからなる。
請求項（抜粋）：
相対的に高い第1の観察倍率範囲を有し、試料の表面物理量を測定して観察する走査型プローブ顕微鏡と、相対的に低い第2の観察倍率範囲を有し、前記試料の表面を観察する他の顕微鏡と、前記走査型プローブ顕微鏡と前記他の顕微鏡の各々に共通な表示手段と、観察倍率を指示する指示手段と、前記指示手段で指示された前記観察倍率を判定して前記走査型プローブ顕微鏡と前記他の顕微鏡のいずれかを選択し、選択された顕微鏡を用いてかつ指示された前記観察倍率によって観察を行い、前記表示手段に観察像を表示する制御手段とを備えることを特徴とする複合型顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 11/30
, G01B 21/00
, G01B 21/30
G01N 37/00 A
, G01B 11/30 Z
, G01B 21/00 E
, G01B 21/30
