特許
J-GLOBAL ID：200903055486963594
波長測定器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-101139
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296849
出願日： 1992年04月21日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】この発明の波長測定器にあっては、環境の変化によってレーザ干渉測長が低下するため、環境の変化分を含めた媒質中の波長を測定することを特徴とする。【構成】この発明の波長測定器は、ステージ10上に取付けられたコの字状で参照鏡12が取付けられた基準ブロック11と、基準鏡15が取付けられた可動部14を有している。可動部14は、ステージ10の案内溝13に沿って基準ブロック11の第3の部分の当接部から第1の部分の当接部に移動自在とされる。上記可動部14が基準ブロックの2箇所の当接部に当接された状態で、基準鏡15からの反射光と参照鏡12からの反射光との間で生じる干渉縞が測定され、2つの干渉縞の差と可動部14の移動距離により、媒質中の波長が測定される。
請求項（抜粋）：
入射されるべく光を透過させると共に反射させる第1のビームスプリッタと、この第1のビームスプリッタからの光を透過させると共に反射させる第2のビームスプリッタと、この第2のビームスプリッタを透過した光を再度第2のビームスプリッタを介して上記第1のビームスプリッタに反射させる第1の反射鏡と、この第1の反射鏡が取付けられて上記光軸方向に摺動自在の可動部材と、この可動部材を上記光軸方向に駆動させる駆動手段と、上記第2のビームスプリッタで反射された光を再度第2のビームスプリッタを介して上記第1のビームスプリッタに反射させる第2の反射鏡と、この第2の反射鏡が取付けられるもので、上記可動部材の摺動方向に対向するように一対の当接部を有して上記可動部材の移動距離を規制する規制部材と、上記第1の反射鏡からの反射光と上記第2の反射鏡からの反射光による干渉縞を検出する検出手段とを具備し、上記検出手段は上記可動部材を上記光軸方向に可動させて上記移動距離を基に干渉縞を検出することにより媒質中の波長を測定することを特徴とする波長測定器。
IPC (2件)：
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