特許

J-GLOBAL ID：200903055488247799

気圧制御方法および装置、これを用いたレーザ計測装置および露光装置

発明者： 加藤 勝弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-215987
公開番号（公開出願番号）：特開2001-044112
出願日： 1999年07月29日
公開日（公表日）： 2001年02月16日
要約：

【要約】【課題】 気圧制御方法および装置、これを用いたレーザ計測装置および露光装置において、より高精度な座標測定を行うこと。【解決手段】 光ビームの光路L周囲の気圧の変動に応じて、光路周囲を流れる気体流の流速を調整、変化させることにより、光路上の気体流の流速を制御でき、それに伴って光路上の気圧を高精度に制御することができる。そして、この技術を、計測対象物の位置を計測するレーザ計測装置に用いることにより、測定用の光ビームの光路上における気圧変動が抑制されてレーザ光による高精度な位置計測を行うことが可能になる。

請求項（抜粋）：

光ビームの光路上の気圧を制御する気圧制御方法であって、前記光路周囲の気圧の変動に応じて、前記光路周囲を流れる気体流の流速を調整し、前記光路上の気圧を制御することを特徴とする気圧制御方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 503 A ,  G03F 7/20 521

Fターム (11件)：

5F046AA22 ,  5F046CC01 ,  5F046CC16 ,  5F046DA07 ,  5F046DA27 ,  5F046DB03 ,  5F046DB05 ,  5F046DB11 ,  5F046DC09 ,  5F046DC12 ,  5F046DC14