特許
J-GLOBAL ID：200903055490291304
吸着テーブル及びそのエレメント
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
澤 喜代治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-275534
公開番号（公開出願番号）：特開平10-107131
出願日： 1996年09月25日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、電子部品をほぼ全面に亙って吸着、固定することによってシリコンウェハ、プリント配線板及び薄膜部材などの変形を防止して正確且つ精密なパターン等を形成できるようにし、しかも電子部品に不純物が付着しないようにする上、電子部品の帯電を防止できるようにした吸着テーブル及びそのエレメントを提供することを目的とする。【構成】 本発明は、多孔質のエレメントと、このエレメントを保持し、且つ該エレメントを吸引源に連通させる吸引路を有するボディとを備える吸着テーブルにおいて、前記エレメントが耐食性で、しかも導電性を有する素材で形成されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
多孔質のエレメントと、このエレメントを保持し、且つ該エレメントを吸引源に連通させる吸引路を有するボディとを備える吸着テーブルにおいて、前記エレメントが耐食性で、しかも導電性を有する素材で形成されていることを特徴とする吸着テーブル。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 P
, B23Q 3/08 A
