特許

J-GLOBAL ID：200903055491069230

ブレードの装着方法及び切削装置

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 佐々木 功 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-015751
公開番号（公開出願番号）：特開2002-219648
出願日： 2001年01月24日
公開日（公表日）： 2002年08月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 スピンドルにブレードが装着された構成の切削装置において、ブレードのスピンドルへの装着を可能としつつ、スピンドルの回転時に回転バランスが崩れないようにする。【解決手段】 切削装置の使用環境の温度においては、被装着部30をブレード装着部25に装着することが不可能な程度に被装着部30の大きさL1とブレード装着部25の大きさL2とが異なるように形成しておき、ブレード23をスピンドル22に装着する際に、被装着部30またはブレード装着部25を相対的に加温または冷却して被装着部30をブレード装着部25に装着できる状態として装着し、装着後は、使用環境の温度において、被装着部30とブレード装着部25とが密着して固定されるようにする。

請求項（抜粋）：

被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段とから少なくとも構成され、該切削手段は、回転可能なスピンドルと、該スピンドルに装着されるブレードとを少なくとも含み、該ブレードは、基台と該基台の外周に形成された切り刃と該基台の回転中心部に形成された被装着部とから構成されるハブブレードであり、該スピンドルには該被装着部を装着するブレード装着部が形成された切削装置におけるブレードの装着方法であって、切削装置の使用環境の温度においては、該被装着部を該ブレード装着部に装着することが不可能な程度に該被装着部の大きさと該ブレード装着部の大きさとが異なるように形成すると共に、該被装着部または該ブレード装着部を加温または冷却により伸縮する材質により形成し、該ハブブレードを該スピンドルに装着する際に、該被装着部または該ブレード装着部を相対的に加温または冷却して該被装着部を該ブレード装着部に装着できる状態として装着し、該装着後は、該使用環境の温度において、該被装着部と該ブレード装着部とが密着して固定されるブレードの装着方法。

IPC (4件)：

B24B 45/00 ,  B23B 31/117 610 ,  B23P 11/02 ,  H01L 21/301

FI (5件)：

B24B 45/00 Z ,  B23B 31/117 610 F ,  B23P 11/02 A ,  B23P 11/02 C ,  H01L 21/78 F

Fターム (3件)：

3C032DD00 ,  3C034AA19 ,  3C034BB51