特許
J-GLOBAL ID:200903055494965288
モニタリング方法およびモニタリング機能を有するVCSELアレイ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
西山 恵三
, 内尾 裕一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-081800
公開番号(公開出願番号):特開2008-244101
出願日: 2007年03月27日
公開日(公表日): 2008年10月09日
要約:
【課題】 簡易な構成でVCSELアレイ上の各発光素子を個別にモニタリングすることのできるモニタリング方法とVCSELアレイを提供する。【解決手段】 複数の垂直共振器型面発光素子が基板上に配置されたVCSELアレイであって、第1の光素子110と、第2の光素子120とを備えている。第2の光素子120は、バイアス方向切換手段により、第2の光素子120に対して印加する電圧を逆方向のバイアスに切り換えたときに、第1の光素子110から出射された基板水平方向の光140を受光して、電気信号に変換する。また、第2の光素子120は、バイアス方向切換手段により、第2の光素子120に対して印加する電圧を順方向のバイアスに切り換えたときに、基板水平方向の光150を出射する。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
複数の垂直共振器型面発光素子が基板上に配置されたVCSELアレイの出力光をモニタするモニタリング方法であって、
第1の光素子に対して印加する電圧のバイアス方向を順方向にすることにより、該第1の光素子から前記基板水平方向へ光を出射させ、
第2の光素子に対して印加する電圧のバイアス方向を逆方向にすることにより、前記第1の光素子から出射した光を該第2の光素子によって受光して、該第1の光素子の光量を電気信号に変換させ、
前記第2の光素子に対して印加する電圧のバイアス方向を順方向にすることにより、該第2の光素子から前記基板水平方向へ光を出射させ、
第3の光素子に対して印加する電圧のバイアス方向を逆方向にすることにより、前記第2の光素子から出射した光を該第3の光素子によって受光して、該第2の光素子の光量を電気信号に変換させることを特徴とするモニタリング方法。
IPC (5件):
H01S 5/068
, H01S 5/42
, H01S 5/026
, B41J 2/44
, H01L 31/12
FI (5件):
H01S5/0683
, H01S5/42
, H01S5/026 618
, B41J3/00 D
, H01L31/12 J
Fターム (26件):
2C362AA03
, 2C362AA15
, 2C362AA16
, 2C362AA53
, 2C362AA54
, 5F089AA10
, 5F089AB15
, 5F089AC02
, 5F089AC07
, 5F089CA21
, 5F089GA01
, 5F089GA10
, 5F173AC03
, 5F173AC13
, 5F173AC52
, 5F173AD05
, 5F173AD11
, 5F173AD16
, 5F173AR13
, 5F173SA33
, 5F173SC07
, 5F173SE01
, 5F173SF03
, 5F173SF07
, 5F173SF32
, 5F173SF43
引用特許:
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