特許

J-GLOBAL ID：200903055499679364

位置決め用マーク検出方法および装置

発明者： 田村 利郎 ,  美尾 恵己 ,  高木 啓至
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立コンピュータエレクトロニクス ,  日立コンピュータエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-047450
公開番号（公開出願番号）：特開平7-260427
出願日： 1994年03月17日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：

【要約】【目的】 微小スルーホールであって、かつ検出画像が不安定な状態であっても、高精度に中心位置を求める位置決め用マーク検出方法および装置を提供する。【構成】 XY平面上に設置された位置決め用マークに対し指向性を有する光線を斜上方向から照射し、該光線で照射された前記位置決め用マークを当該位置決め用マークの真上から撮影し、該撮影された画像の前記光線の照射方向に垂直に相対した線分方向における基準点を設定し、該設定した基準点から前記線分方向への前記画像の濃度変化を抽出し、該抽出した濃度変化を微分し、該微分した値のうち2つの最大点位置を算出し、該算出した2つの最大点位置の中点位置を求めて前記位置決め用マークの中心位置とする。

請求項（抜粋）：

XY平面上に設置された位置決め用マークに対し指向性を有する光線を斜上方向から照射し、該光線で照射された前記位置決め用マークを当該位置決め用マークの真上から撮影し、該撮影された画像の前記光線の照射方向に垂直に相対した線分方向における基準点を設定し、該設定した基準点から前記線分方向への前記画像の濃度変化を抽出し、該抽出した濃度変化を微分し、該微分した値のうち2つの最大点位置を算出し、該算出した2つの最大点位置の中点位置を求めて前記位置決め用マークの中心位置とすることを特徴とする位置決め用マーク検出方法。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G06T 7/00 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/46