特許

J-GLOBAL ID：200903055501726030

超薄膜積層部材

発明者： 瀬戸山 誠 ,  田中 素之 ,  中山 明 ,  吉岡 剛 ,  橋本 泰久 ,  山縣 一夫 ,  小林 晄徳
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-253384
公開番号（公開出願番号）：特開平7-003432
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年01月06日
要約：

【要約】【目的】 切削工具や耐摩工具の耐摩耗性を十分に向上させ、また、電気、電子、摺動、機械部品の耐摩耗膜、保護膜として優れた特性を有する被覆構造を提供する。【構成】 周期律表IVa、Va、VIa族元素、Alから選択される1種以上の元素の立方晶型の結晶構造を持つ1種以上の主に金属結合性の窒化物もしくは炭窒化物と、常温、常圧、平衡状態において立方晶型以外の結晶構造を持つ主に共有結合性の化合物を繰り返して積層する構造を有し、全体として立方晶型のX線回折パターンを持ち、それぞれの化合物の層厚を0.2〜20nmとした超薄膜積層部材を、全体の膜厚を0.5μm〜10μmとした切削工具や耐摩工具の硬質基材の被膜、あるいは全体の膜厚を5nm〜10μmとした電気、電子、摺動、機械部品の耐摩耗膜、保護膜として用いる。

請求項（抜粋）：

周期律表IVa、Va、VIa族元素、Al、Bから選択される1種以上の元素の立方晶型の結晶構造を持つ主に金属結合性の1種以上の窒化物もしくは炭窒化物と、常温、常圧、平衡状態において立方晶型以外の結晶構造を持つ主に共有結合性の1種以上の化合物を繰り返して積層する構造を有し、全体として立方晶型のX線回折パターンを持ち、それぞれの化合物の層厚を0.2〜20nmとした超薄膜積層部材。

IPC (3件)：

C23C 14/06 ,  B23B 27/14 ,  B23P 15/28