特許
J-GLOBAL ID：200903055512521830
十の字形状スリット光照射式光切断顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉山 泰三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-056471
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258115
出願日： 1999年03月04日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 測定物の測定面に斜め方向から二本の細線状スリット光(光学的な細い照射光線帯)を十字形に結像する状態で照射することによって測定面の表面にならった形状を呈する恰も測定面を切断したかのような光切断像を観測用光学系を介して得ることにより測定面の微小な凹凸、段差の深さ高さを測定するようにした、スリット光帯が十字形を呈する状態で測定面に照射する形式の十の字形状スリット光照射式光切断顕微鏡を新規に提供する。【解決手段】 スリット光照射用光学系と光切断像観測用光学系とをこれ等両系の光軸が測定面上において結像する状態で備えた二組の光切断顕微鏡構成部を、これら両組の形成するスリット光帯が測定面上で十字形状を形成する配置として一体に備えたものである。
請求項（抜粋）：
スリット光照射用光学系と光切断像観測用光学系とをこれ等両系の光軸が測定面上において交わるスリット光帯を結像する状態で備えた二組の光切断顕微鏡構成部を、これら両組の形成するスリット光帯が測定面上で十字形状を形成する配置として一体に備えたことを特徴とする十の字形状スリット光照射式光切断顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (8件)：
2F064MM05
, 2F064MM18
, 2F064MM45
, 2H052AA00
, 2H052AC04
, 2H052AC09
, 2H052AC16
, 2H052AF14
